1. Konečný stupeň vákua leptacej komory: menší alebo rovný 9.0×10-5Pa;
2. Materiály na leptanie: kremík, kremeň, zlúčeniny III.-V, keramika a rôzne kovy, nekovové tvrdé filmy atď.;
3. Rýchlosť leptania: väčšia alebo rovná 10 nm ~ 200 nm/min (v závislosti od konkrétneho leptacieho materiálu a procesu);
4. Iónový zdroj: kruhový jednosmerný iónový zdroj s priemerom Φ150 mm;
5. Energetický rozsah Ar+ iónov: 100~1000 eV;
6. Hustota iónového lúča: 0~1 mA/cm2.